HITACHI日立灯丝耗材研磨片01E-6376青岛平山郭-158-54210565
HITACHI日立灯丝耗材研磨片01E-6376青岛平山郭-158-54210565
LCD触摸屏让您只需指尖即可设置电流和时间等条件。
标准配备配方功能,可保存和读取设定条件。
通过安装选件可以处理厚且大的样品。
| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 放電 | 方式 | 二极管放电磁控管型(电场/磁场正交型) |
| 電極形状 | 对置平行盘(嵌入式磁铁) | |
| 電圧 | 最大电压 DC 0.4 kV(通过相位控制可变) | |
| 電流 | 最大电流 DC 40 mA(设置范围:5 至 40 mA) | |
| 涂布率 (参考値*1)最大値: <条件> 真空度:7 Pa 放电电流:40 mA 样品间距离:20 mm | 铂靶 15 nm/min 铂-钯靶材 20 nm/min 金靶 35 nm/min Au-Pd 靶材 25 nm/min | |
| 涂布时间 | 5~300秒 | |
| 样本量 | 最大試料径 | φ60毫米 |
| 最大样品高度 | 20毫米 | |
| 排气泵 | 旋转泵 135/162 L/min (50/60 Hz) | |
| 靶材(Φ63mm)(另售) | 铂、铂-钯(8:2)、金、金-钯(6:4) | |
| 所要電源 | 单相交流100V(±10%)15A(50/60Hz) | |
| 外形寸法(本体) 未安装选件时 | 幅 | 450毫米 |
| 奥行 | 391毫米 | |
| 高度 | 391毫米 | |
| 質量 | 主要单位:约。 22 kg,旋转泵:约。 30公斤 碳涂层单位:约。 26公斤 | |
*1涂布率是参考值,会根据条件而变化。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 本体 | 1 |
| 旋转泵 | 1 |
| 標準付属品 | 1式 |
| 取扱説明書 | 1 |
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 室温 | 15~30℃ |
| 湿度 | 45-85%以下(无凝结) |
| 電源 | 单相AC100V(±10%)、50/60Hz、1.5kVA D类接地,接地电阻≤100Ω的专用开关 (3P插座(线长3m)配备漏电检测器(中灵敏度延迟型)) |
MOLEX压线钳JHTR1031C青岛平山
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