ULVAC爱发科CRYO-U12H用2段式GM冷冻机的低温真空泵

环境设备类鼓风机 ULVAC爱发科CRYO-U12H用2段式GM冷冻机的低温真空泵

ULVAC爱发科CRYO-U12H用2段式GM冷冻机的低温真空泵

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简介

郑州市平山贸易有限公司段宏伟电话/微信：18838297285QQ:3389946291邮箱：duan@hirayama.net.cnCRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择…

分类: 环境设备类, 鼓风机,

产品详情

郑州市平山贸易有限公司段宏伟

电话/微信：18838297285

QQ:3389946291

邮箱：duan@hirayama.net.cn

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

特别适用于中，大型规模的生产装置。
热负荷性能强，可适用于多种工艺。

标准规格

排气速度(20℃)	氮	L/s	4,000
	氢		6,000
	氩		3,300
	水		9,500
极限压力	Pa(Torr)		10^-7(10^-9)
最大流量	氩	Pa・L/s(Torr・L/s)	2.0×10³(15)
排气容量	氩	Pa・L(Torr・L)	2.1×10⁸(1.6×10⁶)
排气容量	氢	Pa・L(Torr・L)	9.8×10⁵(7.4×10³)
冷却下降时间(动力循环)	min(Hz)		85/75(50/60)
吸气口法兰			UVG-300,10^BANSI
压缩机组			C30VRT
重量		Kg	40.0