ULVAC爱发科CRYO-U4H 用2段式GM冷冻机的低温真空泵

环境设备类鼓风机 ULVAC爱发科CRYO-U4H 用2段式GM冷冻机的低温真空泵

ULVAC爱发科CRYO-U4H 用2段式GM冷冻机的低温真空泵

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简介

郑州市平山贸易有限公司段宏伟电话/微信：18838297285QQ:3389946291邮箱：duan@hirayama.net.cnCRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择…

分类: 环境设备类, 鼓风机,

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郑州市平山贸易有限公司段宏伟

电话/微信：18838297285

QQ:3389946291

邮箱：duan@hirayama.net.cn

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

最大发挥了4-inch低温泵的排气特性。
高排气速度有助于提高排气效率和生产率。
特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。
1台压缩机最多可以运行四台泵。
可以根据您的应用进行设计和制造。

标准规格

排气速度(20℃)	氮	L/s	450
	氢		500
	氩		370
	水		1,100
极限压力	Pa		10^-7
最大流量	氩	Pa・L/s	1.3×10³
排气容量	氩	Pa・L	1.0×10⁷
排气容量	氢	Pa・L	1.5×10⁵
冷却下降时间	min(50/60Hz)		45/50
重量		Kg	14.5