郑州市平山贸易有限公司 段宏伟
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测量部件和测量电路一体化集成
模拟输出和设定点输出
独立的模拟日志输出和设定点输出(显示单元)
采用DIN标准尺寸48 x 96 mm(显示单元)
用于半导体,光学和电子零件制造的精密真空设备的压力范围内的过程控制
低真空范围的过程控制,适用于熔解炉等工业设备
具有多个工艺腔体的真空系统的压力范围内的过程控制,例如in-line式溅射设备和晶圆制造设备
传感器 单元 | 显示单元 | 特征 | ||
数字 | 数字4CH | |||
皮拉尼真空计 | SW1 SP1 | ISG1 | IM1R1 IM2R1 | ・10-2~10+5Pa ・价格低 |
热的 阴极 真空计 | SH2 | ・5x10-8~9.9x100Pa ・测量范围广 ・多离子真空计适用 | ||
冷 阴极 真空计 | SC1 | ・5x10-5~1Pa ・低运行成本 | ||
电容 压力计 | CCMT-D | DC15V DC24V | ・陶瓷隔膜规格 ・可以高精度测量低,中真空 | |
特征 | ・测定子一体型 ・类似物输出 ・设定点输出 | ・DC24V适用 ・设定点3点 ・查看方便LED | ・4CH同时表示 ・设定点8点 ・节省空间 |