爱发科ULVAC皮拉尼真空计SP1传感器单元

环境设备类鼓风机爱发科ULVAC皮拉尼真空计SP1传感器单元

爱发科ULVAC皮拉尼真空计SP1传感器单元

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简介

郑州市平山贸易有限公司段宏伟电话/微信：18838297285QQ:3389946291邮箱：duan@hirayama.net.cnCRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择…

分类: 环境设备类, 鼓风机,

产品详情

郑州市平山贸易有限公司段宏伟

电话/微信：18838297285

QQ:3389946291

邮箱：duan@hirayama.net.cn

传感器单元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空计测量单元。「测定子和电路一体型(测定子可以更换)」结构，能够降低成本和节省空间。

特点

传感器规格：如果不需要压力指示器
・真空计成降低
・控制板空间节省
・配线简化
测定子更换更容易
灯丝使用耐腐蚀材料铂
到目前为止使用的测量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用
可以输出2个设定点
SP1：压力为0至5 V输出（非线性输出）
电源电压：24 VDC输入

用途

用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制

规格

Type	Sensor unit
Model	SP1
Compatible sensor head	WP-01, WP-02, WP-03, WP-16
Accuracy	±15 %（51 Pa ～760 Pa）
	±30 %（10 Pa ～1000 Pa）
	±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa）
Operating temperature range	10 ~ 40℃
Measurement value output	Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V)
Setpoint 1/2 Pressure setting adjustment monitor	Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V)
Control output signal	Open collector output, Negative logic
	ERROR signal
	Setpoint 1/2
LED display	Power, error, set point 1, set point 2
Power supply voltage	DC24V±2V, 90mA（Max.）
Input/Output connector	D-sub-15P（M2.6 screw）
Weight	190g /0.41lb (Excluding sensor head)
Standard accessories	Input/Output connector 1pc
Standard accessories	Quick manual 1pc