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HITACHI日立铂金靶材电镜灯丝01E-6376详询 关15908970566
产品详情
长处
LCD 触摸面板允许您用一个指尖设置条件，例如电流和时间。
配备配方功能，可以作为标准保存和读取设定条件
适用于厚样品和大样品的可选安装
规范
| 项目 | 物质 | |
|---|---|---|
| 电火花 | 方法 | 二极管放电磁控管型（电场/磁场正交型） |
| 电极形状 | 相对平行圆盘（磁铁嵌入） | |
| 电压 | 最大电压 DC 0.4 kV（通过相位控制可变） | |
| 电流 | 最大电流 DC 40 mA （设定范围： 5~40 mA） | |
| 涂布速率 （参考值）*1最大值： <条件> 真空度：7 Pa 放电电流：40 mA 样品间距离 ：20 mm | Pt 靶材 15 nm/min Pt-PD 靶材 20 nm/min Au 靶材 35 nm/min Au-PD 靶材 25 nm/min | |
| 涂层时间 | 5~300 秒 | |
| 试样尺寸 | 最大样品直径 | φ60 毫米 |
| 最大样品高度 | 20 毫米 | |
| 排气泵 | 旋转泵 135/162 L/min （50/60 Hz） | |
| ターゲット（Φ63 mm）（別売品） | Pt、Pt-Pd（8：2）、Au、Au-Pd（6：4） | |
| 所要電源 | 単相AC 100 V（±10％） 15 A（50/60 Hz） | |
| 外形寸法（本体） オプション非装着時 | 幅 | 450 mm |
| 奥行 | 391 mm | |
| 高さ | 391 mm | |
¥666.00
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