它是一个具有 8 位、4 位并行 I/O 接口的传输设备。 使用光的无线通信可实现与 AGV(自动导引车)等移动物体的无线通信。 它与 SEMI E84 半导体制造设备标准兼容。
* 请参阅型号列表以获取型号。


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