这是一种自动抛光晶圆外围外围的倒角的设备。
槽口和oriflat均可使用同一设备抛光。
我们有不同晶片尺寸的设备,范围为8到15英寸。
通过使用抛光胶带,可以控制抛光力以保持恒定的抛光力而不会受到堵塞的影响。
使用高质量的抛光胶带实现低RA
适合各种过程-CVD胶片去除
- R -Beveling,倾斜 - 倾斜
- 收获
- 收回
无论电影质量如何EPI(氧化物,Poly,LTO膜)钛,钨,金属等。
减少浆液负荷
100%无化学物质只需用水就可以完成抛光。
无需担心废水处理。
1000类兼容它可以通过安装本地和集中排气系统来在干净的房间中使用。