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日本IMT晶圆锥抛光设备 平山有售

日本IMT晶圆锥抛光设备 平山有售

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简介

郑州市平山贸易有限公司 段宏伟电话/微信:18838297285QQ:3389946291邮箱:duan@hirayama.net.cn

产品详情

这是一种自动抛光晶圆外围外围的倒角的设备。
槽口和oriflat均可使用同一设备抛光。
我们有不同晶片尺寸的设备,范围为8到15英寸。
通过使用抛光胶带,可以控制抛光力以保持恒定的抛光力而不会受到堵塞的影响。

主要功能

  • 使用高质量的抛光胶带实现低RA

  • 适合各种过程-CVD胶片去除
    - R -Beveling,倾斜 - 倾斜
    - 收获
    - 收回

  • 无论电影质量如何EPI(氧化物,Poly,LTO膜)钛,钨,金属等。

  • 减少浆液负荷

  • 100%无化学物质只需用水就可以完成抛光。
    无需担心废水处理。

  • 1000类兼容它可以通过安装本地和集中排气系统来在干净的房间中使用。


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