销售SODICK F.T沙迪克5090918H型陶瓷尺规156-5513-4803
销售SODICK F.T沙迪克5090918H型陶瓷尺规156-5513-4803
销售SODICK F.T沙迪克5090918H型陶瓷尺规156-5513-4803
保证平面精度和宽区域内左右两侧平行度的直尺
基準直定規
5093523 1000×60×30 8kg 平面度1um 平行度1um 4w
5090918 1500×90×30 16 1.5 6w
5094942 2000×120×30 28 1.5 8w
5094943 2500×140×35 45 2 10w
5094944 3000×170×40 70kg 2 13w
5096124 4000×220×50 134 2.5 2.5
5096130 1000×80×50 16 1 1 宽
超精密陶瓷空气滑块
低重心 低重心结构,具有独特的磁体预紧机构
实现高运动性能
工作台使用黑色堇青石
有效降低光学系统装置的反射率和载物台机构的定位精度
低热膨胀和轻重量
工作台和滑块部分的堇花石和直线电机
磁铁预紧的低热膨胀金属
长期运行无位移
位置偏差为 5 nm 或更小
用于舞台优化的内部线性电机和内部线性放大器
600*550*235mm
104kg
直角度0.5um
位置偏差5nm