固定式半导体材料气体检测装置,带传感器单元交换系统。
随附可随时更换的校准传感器单元,无需现场气体校准
兼容 NF3 检测
兼容 Modbus (RS-485/以太网) (PS-7-M)*以太网通信支持 PoE
符合 CE 和 SEMI 标准
用于半导体工厂半导体材料气体泄漏的检测
◆便携式(传感器单元交换方式)半导体材料气体检测单元 XPS-7II
◆便携式半导体材料气体检测仪 XP-703DIII
◆使信号布线无线的无线转换器 WC-7L
规范
目标气体 半导体材料:气体、氢气、氧气 检测原理 半导体材料气体:恒电位电解型
氢气:热线型半导体型
氧气:原电池型气体提取法 自动抽吸 检测范围 按规格 报警 [报警设定点]
根据规格
【报警方式】
红色LED灯闪烁
液晶屏 第一级:ALARM1 第二级:ALARM1、ALARM2显示大小 W62×H124×D143mm(不含选件和突起) 质量 约1.0kg 工作温度和湿度范围 0°C~40°C(但无突然变化),30~85%RH(但无冷凝) 使用电源 直流24V±10% 功耗 约 7W 外部输出 ・气体浓度模拟输出DC4-20mA(负电源通用)
・气体报警接点(1级和2级)1A无压接点/自动返回
・故障报警接点(集电极开路/自动返回)