固定式半导体材料气体检测装置,带传感器单元交换系统。
随附可随时更换的校准传感器单元,无需现场气体校准
兼容 NF3 检测
兼容 Modbus (RS-485/以太网) (PS-7-M)*以太网通信支持 PoE
符合 CE 和 SEMI 标准
用于半导体工厂半导体材料气体泄漏的检测
◆便携式(传感器单元交换方式)半导体材料气体检测单元 XPS-7II
◆便携式半导体材料气体检测仪 XP-703DIII
◆使信号布线无线的无线转换器 WC-7L
| 目标气体 | 半导体材料:气体、氢气、氧气 |
|---|---|
| 检测原理 | 半导体材料气体:恒电位电解型 氢气:热线型半导体型 氧气:原电池型 |
| 气体提取法 | 自动抽吸 |
| 检测范围 | 按规格 |
| 报警 | [报警设定点] 根据规格 【报警方式】 红色LED灯闪烁 液晶屏 第一级:ALARM1 第二级:ALARM1、ALARM2显示 |
| 大小 | W62×H124×D143mm(不含选件和突起) |
| 质量 | 约1.0kg |
| 工作温度和湿度范围 | 0°C~40°C(但无突然变化),30~85%RH(但无冷凝) |
| 使用电源 | 直流24V±10% |
| 功耗 | 约 7W |
| 外部输出 | ・气体浓度模拟输出DC4-20mA(负电源通用) ・气体报警接点(1级和2级)1A无压接点/自动返回 ・故障报警接点(集电极开路/自动返回) |
日本ANRITSU安立計器温度传感器MG-24K-GW1-ANP