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FUJIKIN富士金FUCL-115B-0.023低流量气体控制单向阀青岛平山技研刘15621198049

五金工具类 FUJIKIN富士金FUCL-115B-0.023低流量气体控制单向阀青岛平山技研刘15621198049

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简介

FUJIKIN富士金FUCL-115B-0.023低流量气体控制单向阀青岛平山技研刘15621198049核心特点超低流量控制：0.023 SLM（标准升/分钟），适用于微量气体精确控制（如 SiH₄、H₂、NF₃ 等）。高精度 & 快速响应：精度通常可达 1% F.S.（满量程），响应时间 <1 秒。兼容…

分类: 五金工具类,

产品详情

FUJIKIN富士金FUCL-115B-0.023低流量气体控制单向阀青岛平山技研刘15621198049

核心特点

超低流量控制：
0.023 SLM（标准升/分钟），适用于微量气体精确控制（如 SiH₄、H₂、NF₃ 等）。
高精度 & 快速响应：
精度通常可达 ±1% F.S.（满量程），响应时间 <1 秒。
兼容腐蚀性/特种气体：
阀体材质通常为 SS316L，可选 EPDM、PTFE、Kalrez® 密封，适用于腐蚀性、高纯度气体。

主要应用

半导体制造：
CVD（化学气相沉积）、蚀刻（Etching）工艺中的 SiH₄、NH₃、NF₃ 等气体控制。
光伏行业：
硅薄膜沉积（如 SiH₄/H₂ 混合气体流量调节）。
特种气体输送：
实验室、分析仪器用高纯度气体精密控制。
生物医药：
反应釜气体流量调节（如 CO₂、O₂ 控制）。

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¥1351.00

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郑州市中原区航海路桐柏路创科大厦1001室

+8615890105855

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