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IWAKI易威奇气动泵管泵SB-3TH-M青岛平山郭-158-54210565
产品详情
IWAKI易威奇气动泵管泵SB-3TH-M青岛平山郭-158-54210565
IWAKI易威奇气动泵管泵SB-3TH-M青岛平山郭-158-54210565
IWAKI易威奇气动泵管泵SB-3TH-M青岛平山郭-158-54210565
SB系列特点
高精度
准确测量和分配光刻胶和其他化学溶液。为了优化抗蚀剂滴落量，提高了每次喷射的点胶精度，并通过安装吸回装置（可选），防止抗蚀剂从排出端滴落。
波纹管内部死体积极小，该结构可防止液体停滞。无密封结构和慢速气缸可以低速注入光刻胶，防止空气进入光刻胶。
轻巧紧凑的设计
泵可以立式或卧式安装（SB-4K/5/6 除外），让您可以选择最适合您系统的形状。紧凑的设计还为外围设备提供了空间。
我们还有带机械限位器的气缸，可让您通过单个泵控制微妙的排出量，以及带传感器的气缸，可让您确认可靠的操作。
由不锈钢/氟树脂制成
接液部件材料有不锈钢（SUS304）和氟树脂（PTFE、PFA）类型。它具有优异的耐腐蚀性，并且不存在液体污染，因此您可以安全地管理高分辨率和高纯度光刻胶等液体质量。
概略仕様
| 最大吐出量 | 100mL/冲程 |
|---|---|
| 最高吐出圧力範囲 | 0.05〜0.1MPa |
| 供气压力范围 | 0.15〜0.5MPa |
| 最大耗气量 | 1.0NL/行程 |
| 主要材質 | SUS304/PTFE、PFA |
| 液温範囲 | 15〜25℃ |
¥31540.00
IWAKI易威奇微型磁力泵MD-70RM-233青岛平山郭-158-54210565¥4360.00
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