IWAKI易威奇气动泵管泵SB-3TH-M青岛平山郭-158-54210565
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准确测量和分配光刻胶和其他化学溶液。为了优化抗蚀剂滴落量,提高了每次喷射的点胶精度,并通过安装吸回装置(可选),防止抗蚀剂从排出端滴落。
波纹管内部死体积极小,该结构可防止液体停滞。无密封结构和慢速气缸可以低速注入光刻胶,防止空气进入光刻胶。
泵可以立式或卧式安装(SB-4K/5/6 除外),让您可以选择最适合您系统的形状。紧凑的设计还为外围设备提供了空间。
我们还有带机械限位器的气缸,可让您通过单个泵控制微妙的排出量,以及带传感器的气缸,可让您确认可靠的操作。
接液部件材料有不锈钢(SUS304)和氟树脂(PTFE、PFA)类型。它具有优异的耐腐蚀性,并且不存在液体污染,因此您可以安全地管理高分辨率和高纯度光刻胶等液体质量。
最大吐出量 | 100mL/冲程 |
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最高吐出圧力範囲 | 0.05〜0.1MPa |
供气压力范围 | 0.15〜0.5MPa |
最大耗气量 | 1.0NL/行程 |
主要材質 | SUS304/PTFE、PFA |
液温範囲 | 15〜25℃ |