日本ULVAC爱发科CRYO-U12HSP低温泵 李:157*1387*6121
日本ULVAC爱发科CRYO-U12HSP低温泵 李:157*1387*6121
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氩气的排气能力约为标准型号(U12H)的两倍。
氢气排气能力约为标准型号(U12H)的1.5倍。
再生间隔更长,有助于提升设备利用率。
| 排气速度(20°C) | 氮 | L/s | 4,100 |
| 氢气 | 6,000 | ||
| 氩气 | 3,400 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 达到压力 | 帕(托尔) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 2.0×103(15.0) |
| 排水容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 4.4×108(3.3×106) |
| 氢气 | 1.6×106(1.2×104) | ||
| 冷却投放时间 (电源循环) | min(Hz) | 90/80(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG-300,10B澳大利亚国家安全保险公司(ANSI) | ||
| 压缩机单元 | C30VRT | ||
| 质量 | 公斤 | 42 | |
日本ULVAC爱发科CRYO-U12H低温泵 李:157*1387*6121
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