日本FUJIKIN富士金NFPR-ND-71-6.35-2气动隔膜阀平山销售15713876121
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产品概述
日本FUJIKIN富士金NFPR-ND-71-6.35-2
类型:低压气动隔膜阀
应用领域:适用于半导体制造、光伏等对密封性与洁净度要求极高的工业场景,如超高纯气体输送系统(如SiH₄、NH₃、Cl₂等)、特气柜(Gas Box)、CVD/PVD设备供气单元、蚀刻与清洗设备等关键工艺环节。
产品特点
高气密性:采用直动式隔膜结构,实现高气密性设计,确保系统在高压、高腐蚀、高洁净环境下的安全稳定运行。
高耐久性:隔膜材质为镍钴合金,具备卓越的抗疲劳性能,操作寿命可达400万次以上(φ6.35型号)。
小型化与轻量化:在保留原有MEGA-ONE LA性能的基础上,进一步优化执行器结构,实现小型化与轻量化,节省安装空间,提升系统集成灵活性。
无颗粒释放与无死角:接液部分全部采用EP(电解抛光)处理,表面粗糙度极低,防止污染;可选UP(超纯)处理以满足更严苛的洁净要求。
多种端接方式:支持UJR(VCR兼容)、UPG、F900压缩式、Tube Stub、IGS表面安装等多种端接方式,适用于新旧气体管路的灵活部署。
产品规格
口径:6.35mm(1/4英寸)
最高使用压力:1MPa
使用流体温度范围:-10℃~80℃
Cv值:0.3(20℃氮气时)
动作压力:0.4~0.6MPa
操作压力连接口:M5×0.8
连接接头:UJR、UPG、F900自动熔接接头
日本AND艾安得AD-4401A称重传感器平山贸易15713876121