日本进口KITZ北泽NRD4CSI-WC-EP-316L气动隔膜阀15713876121
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基础参数
公称口径:1/4"
大工作压力:20.6 MPa(206bar)
驱动气源:0.4~0.7 MPa 干燥洁净空气
动作类型:NC 常闭
阀座密封:PCTFE(耐强腐蚀高纯密封)
流体适用:高纯氮气、氩气、氢气、硅烷、氯气等半导体特气
流体温度:-10℃ ~ +42℃
环境温度:-10℃ ~ +40℃
内表面处理:EP 电解抛光,Ra≤0.25μm,无死角低颗粒脱落
密封泄漏:He 检漏≤1×10⁻⁹ atm・cc/s,超高气密性
材质明细
阀体 / 隔膜:SUS316L 低碳不锈钢(EP 电解抛光)
阀座密封:PCTFE(耐酸碱、耐氟化气体)
执行器外壳:铝合金阳极氧化
驱动膜片:EPDM 耐老化橡胶
结构与产品特点
高压紧凑型
20.6MPa 超高压规格,阀体体积小巧,适配特气柜、VMB、气瓶阀组狭小安装空间。
EP 高纯内抛光
内壁电解抛光,大幅降低金属离子析出,满足半导体、光伏、锂电超高纯工艺要求。
楔型倍力气动机构
低压 0.4MPa 气源即可可靠开关,启闭响应快、寿命长。
无死角隔膜结构
流道平滑无滞留区,不易积尘、吸附杂质,适配腐蚀性、易燃易爆特种气体。
WC 对焊接口
管路现场自动轨道焊接,无卡套渗漏风险,适合长期高压工况。
应用场景
半导体 Fab 特气柜、VMB、气瓶二次阀
光伏、锂电超高纯供气管路切断
实验室高压腐蚀性特种气体输送
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