FUJIKIN富士金FVPDF-R166LC-EC1气动隔膜阀15713876121
FUJIKIN富士金FVPDF-R166LC-EC1气动隔膜阀15713876121
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参数项
接口规格1/2 MVCR 外螺纹
阀体材质SUS316L EP 电解抛光
隔膜材质PTFE+EPDM 复合隔膜
驱动方式气动单作用・常闭 NC
驱动气源压力0.4~0.6 MPa
介质耐受超纯水、酸碱蚀刻液、有机溶剂、高纯气体
高介质温度90℃
耐压(阀体)0~0.6 MPa 低压工况
泄漏等级零泄漏,MVCR 金属硬密封
表面粗糙度Ra≤0.25μm EP 镜面抛光
执行器尺寸EC1 标准小型气缸,侧面气口 Rc1/8
安装方式面板安装 / 管路直接装配
结构与材质
EP 电解抛光 316L 阀体:内壁光滑无死角,无颗粒析出,适配半导体、光伏、锂电药液输送
MVCR 金属密封接口:相比卡套接头,超高洁净、无渗漏,适合高纯流体管路
PTFE 隔膜完全隔离金属与介质,耐氢氟酸、强酸强碱,不污染流体
EC1 单作用气缸:断气自动关闭
小型紧凑阀体,控制柜、洁净箱内部密集排布节省空间
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