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ES3701-L日本SURUGA SEIKI骏河精机XYZ三轴自动滑台调芯单元15713876121

搬运工具类升降平台 ES3701-L日本SURUGA SEIKI骏河精机XYZ三轴自动滑台调芯单元15713876121

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货号: #ES3701-L

库存: 99

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李 15713876121邮箱 lixiang@hirayama.net.cn

分类: 搬运工具类, 升降平台,

产品详情

ES3701-L日本SURUGA SEIKI骏河精机XYZ三轴自动滑台调芯单元15713876121

规格参数

产品类型：自动滑台调芯单元（3 轴），L 代表左型。

轴构成：XYZ 三轴自动直动 + θx/θy 两轴手动倾斜。

移动量：X 轴 50 mm，Y 轴 10 mm，Z 轴 50 mm；θx/θy 手动调节范围均为 ±2.5°。

分辨率：微步细分下（MS1/20）X/Z 轴可达 0.05 μm/脉冲；Y 轴（MS1/10）为 0.05 μm/脉冲。

重复定位精度：各自动轴均为 ±0.5 μm 以内（单轴测试状态）。

光轴高度：160 mm。

耐负载：0.3 kgf（约 3 N）。

自重：5.5 kg。

主要特点与用途

设计特点：光轴上方空间开阔，适合显微镜或探针从上方接近作业。

用途：光纤通信、硅光集成等领域的自动调芯、耦合封装及测试。

郑州市中原区航海路桐柏路创科大厦1001室

+8615890105855

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