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TAKEX竹中真空法兰式对射光纤传感器FA7VG702详询13525516487
产品详情
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基础参数
型号：FA7VG702
检测方式：对射式光学检测
通道：2 通道
法兰规格：VG 型 φ70 真空法兰
继电器：内置 4 路继电器输出
真空漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（氦检）
工作温度：-30～250℃
耐温变化速率：≤25℃/min
主体材质：不锈钢 + 光学玻璃
重量：约 700g
配套放大器：F70A 系列光纤放大器
产品
1. VG70 准真空法兰一体结构，超高真空密封性能，适配高真空腔体安装
2. 双通道独立光路，可同时检测两个位置，内置 4 路继电器直接输出开关信号
3. 耐高温结构，可承受 250℃腔体温度，适应真空镀膜、半导体工艺环境
4. 光路采用玻璃窗口隔离，传感器电子元件置于真空腔体外部，不受真空、工艺气体侵蚀
5. 对射式检测，适合检测工件有无、薄膜、基板位置，无接触检测，不污染真空腔体
6. 同系列还有 FA7VG703 版本，通道数量不同
应用场景
半导体真空镀膜设备、真空热处理炉、真空腔体工件检测、薄膜生产真空设备、高真空工艺在线检测。
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TAKEX竹中CS-DF光纤式色标传感器详询13525516487¥0.00
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