竹中TAKEX法兰光纤传感器组件FA7VG703详询13525516487
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基础参数
型号:FA7VG703
检测方式:对射式透过检测
通道数量:3 通道
法兰规格:VG 型 φ70 真空法兰
密封性能:超高真空密封,氦检漏漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
工作温度:-30~250℃
主体材质:不锈钢,光学玻璃隔离窗口
配套放大器:F70A 系列光纤放大器
产品特点
3 通道独立光路,可同时监测三个点位,单法兰集成多组光纤光路,节省真空腔体安装接口。真空侧只有光学窗口,电路全部放置在腔体外部,不会污染真空工艺环境。耐高温结构,可承受真空腔体高温工艺环境。法兰为标准 VG70 规格,适配真空设备法兰安装,密封性稳定。光路隔离设计,阻挡工艺气体、粉尘进入光纤,保护光纤元件。
应用场景
半导体真空镀膜设备、真空热处理炉、液晶面板真空工艺设备、真空腔体基板与工件有无检测、薄膜真空生产线在线检测。

TAKEX竹中真空法兰式对射光纤传感器FA7VG702详询13525516487
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