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日本HORIBA堀场D700T双阀压力式质量流量控制器15713876121

仪器仪表类日本HORIBA堀场D700T双阀压力式质量流量控制器15713876121

日本HORIBA堀场D700T双阀压力式质量流量控制器15713876121

货号: #D700T

库存: 99

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简介

李 15713876121邮箱 lixiang@hirayama.net.cn

分类: 仪器仪表类,

产品详情

日本HORIBA堀场D700T双阀压力式质量流量控制器15713876121

双阀压力式质量流量控制器，半导体专用，针对剧毒 / 强腐蚀气体。

产品特点

双压电阀结构（T=Twin‑valve）：上下游双阀，实现极低阀座泄漏，适配 WF₆、Cl₂、HF 等腐蚀性、有毒工艺气体

压力不敏感技术：差压式原理，不依靠热丝，进出口压力波动对流量影响小

全量程 settling time ≤100 ms，高速响应（升 / 降阶）

内置高级自诊断：传感器漂移、阀门泄漏、流量偏移状态监测

单气体版本，出厂针对指定工艺气体标定，不可现场切换多种气体

D700T 参数

流量量程 0.1 SCCM ~ 10 SLM

精度标准 ±0.8% S.P.；

重复性 ≤0.15 %S.P.

工作温度 15‑60 ℃

通信接口 EtherCAT（标配）；可选 RS485

阀类型双压电阀，常闭阀

接液材质标准 316L 不锈钢、内部电解抛光；耐腐密封 PFA

供电 M8 接口 24 VDC，功耗 7.0W

重量约 1.1 kg

型号差异

D700MG 通用标准款单阀，多气体支持，普通刻蚀 / 沉积工艺

D700T 双阀低泄漏款双阀，低泄漏，有毒 / 强腐蚀气体优先

D700WR 超宽量程款 0.1‑100% FS 宽调节比

D700uF 超微小流量低可控 0.025 SCCM，微量掺杂

日本HORIBA堀场DZ-100超薄型质量流量模块15713876121
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日本进口ASAHI旭计器831干式隔膜式压力表15713876121
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郑州市中原区航海路桐柏路创科大厦1001室

+8615890105855

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