页面加载中...

欢迎光临郑州市平山贸易有限公司

日本HORIBA堀场DZ-100超薄型质量流量模块15713876121

价格货期详询15713876121

货号: #DZ-100

库存: 99

品牌:

¥0.00

李 15713876121邮箱 lixiang@hirayama.net.cn

分类: 仪器仪表类,

产品详情

15713876121

日本HORIBA堀场DZ-100超薄型质量流量模块15713876121

堀场DZ-100是HORIBA超薄型质量流量模块，产品定位是“10mm 超薄宽度 + 不牺牲性能”，为半导体设备气箱的高密度集成设计。

基础参数

模块宽度：10 mm。

重量：230 g。

响应时间：≤0.4 秒。

测量原理：压差层流式（非热丝传感），受温度和供气压力波动影响较小

控制方式：压电阀闭环驱动，支持多气体、多量程在线切换。

通信与供电：EtherCAT 总线通讯；电源组件外置，一台电源盒多可驱动 4 台模块。

重复性：±0.3% S.P.（主力量程型）。

工作温度：15～45°C。

主要特点

超高密度集成：10mm 的宽度意味着在有限的“气箱”空间内可以塞进更多的流量通道，直接缩小设备体积，并让气箱更靠近反应腔，缩短气体置换路径。

性能无损的薄型化：继承了 D500 的 CRITERION™ 技术，虽然尺寸大幅缩小，但仍保持高精度和宽量程控制能力，没有因为变小而牺牲性能。

郑州市中原区航海路桐柏路创科大厦1001室

+8615890105855

相关产品